products
產(chǎn)品分類article
相關(guān)文章產(chǎn)品中心/ products
簡要描述:小金井KOGANEI超精密過濾器如何正確操作使用的部件在無塵清潔室里進行了精密清洗。附著的微粒子少,能立即投入使用液晶、半導(dǎo)體相關(guān)工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、噴氣壓力控制,潔凈空氣、氣體壓力控制等的高精度設(shè)定(感度0.001MPa)。
小金井KOGANEI超精密過濾器如何正確操作
30一體式壓力表幾乎沒有凸出部位,結(jié)構(gòu)緊湊。
并且實現(xiàn)了醒目的指針擺動角度270°的指示范圍,提高了可視性
便于操作的把手的形狀和大小,把手旋轉(zhuǎn)輕松又順暢。
此外,把手鎖定的分辨率得以提高,從而減輕了把手鎖定時設(shè)定壓力的波動。
可任意更改設(shè)定壓力范圍(綠色部分)。
可自由更改設(shè)定范圍的上下限,無需拆下前端罩殼(透明樹脂部分)或使用工具。
所有尺寸的FRZB過濾器調(diào)壓閥的托架均實現(xiàn)了化。
采用多孔中空絲膜濾芯,了同樣情況下平膜小芯10倍以上的接觸面積。
過濾精度高、小型流量大、壽命長
是適合于IC制造裝置等吹氣式終端過濾器
另外,iB-Cyclone與FRZ系列的托架也實現(xiàn)了化。
所有尺寸的FRZB過濾器調(diào)壓閥,面板安裝時的孔徑均為φ 28.5mm。
有關(guān)自動排水的動作原理,請參閱頁的參考資料“自動排水式的動作說明”。
可在排水口的竹節(jié)式接頭上連接內(nèi)徑為φ 4mm的氣管。
請在確認排水口關(guān)閉(鎖定)之后進行氣管的連接作業(yè)。
請將連接到排水口竹節(jié)式接頭上的氣管的斷面切成直角,然后如下圖所示插到底。
另外,安裝之后,請輕輕地拉拔氣管,確認不會脫落。
請勿使連接到排水口竹節(jié)式接頭上的氣管在竹節(jié)式接頭附近過度彎曲或進行撬動。
濾芯是PTFE制膜和PTFE制不織布構(gòu)成的雙重構(gòu)造確保了本產(chǎn)品的安定的??梢缘夭蹲?.01μm的微粒子
使用的部件在無塵清潔室里進行了精密清洗。附著的微粒子少,能立即投入使用
液晶、半導(dǎo)體相關(guān)工序中的各種溶劑、純水線路中傳送氣體的壓力控制、噴氣壓力控制,潔凈空氣、氣體壓力控制等的高精度設(shè)定(感度0.001MPa)。
小金井KOGANEI超精密過濾器如何正確操作